工艺文件应当包括：工艺目录、工艺文件变更记录表、工艺流程图、工位/工序工艺卡片。
（1）工艺目录，指整文件的目录；重要的是需要标明当前各文件的有效版本，这个很重要。
（2）变更记录，通常是在文件内容变更后，进行走变更流程的记录，这些主要内容有：变更的内容页名称、变更的依据文件（通常为ECO）编号、变更前和变更后的版本。
（3）流程图（就像做菜一样，要先买菜，洗菜，切菜，炒菜，最后才是吃菜，也就是指事特定的内在逻辑先后顺序关系，建立在事物的物理模型基础之上）当然必要时提供这些流程中的操作者及对操作的素质要求，需要几个人力，每一个工序要花多少时间，操作要点是什么，要达到什么样的标准，用什么特殊工具，都是按流程图为基础来展开的。
（4）工位/工序的工艺卡片，就是具体到每一个环节，通常为操作者使用，同时要写明本工位（或工序）名称，前工位（或工序）名称，后工位（或工序）名称，用什么材料，用什么工具，操作中要注意哪些事项，执行要达到什么标准，更多的主要内容是操作步骤顺序和方法。